Le SerMiEl dispose de deux microscopes à force atomique: un AFM Agilent 5500 et un AFM Agilent 5500LS.
AFM Agilent 5500, AFM Agilent 5500LS
Le Microscope à Force Atomique (AFM) Agilent est dédié à la caractérisation et l’analyse non destructive de surface d’échantillons conducteurs ou isolants.
Les AFM Agilent 5500 et Agilent 5500LS apportent aussi la possibilité de caractériser à l’échelle nanométrique les comportements physiques (électriques, magnétiques) des nouveaux matériaux ou composants.
Selon l’application choisie, différents modes de mesure sont possibles :
- Les modes d’imagerie (contact, contact intermittent appelé Tapping,…) permettent par exemple d’accéder à une image en 3D de la surface avec calcul des paramètres de rugosité (Ra, RMS), de dresser des profils en ligne afin de déterminer la taille des particules ou la hauteur des marches.
- Les mesures électriques ou magnétiques (EFM, MFM) qui sont des variantes de l’AFM, permettent de cartographier les domaines magnétiques ou électriques des échantillons.
L’AFM Agilent 5500 a la particularité de fonctionner en mode AFM (contact, EFM MFM) et en mode KFM (pour cartographier le potentiel électrostatique de la surface).
Caractéristiques :
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AFM Agilent 5500
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AFM Agilent 5500 LS
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Gamme de balayage X/Y/Z |
9µm x 9µm x 2µm |
90µm x 90µm x 6µm |
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Résolution |
De l’odre du nm |
De l’ordre du nm |
| Mode de fonctionnement |
Mode contact: morphologie de surface Mode intermittent: mode Tapping EFM, MFM |
Mode contact: morphologie de surface Mode intermittent: mode Tapping EFM, MFM, KFM |
| Type d’échantillons (taille, nature) |
2cm x 2cm x 1cm métaux, polymère, céramiques, matériaux biologiques,… |
15cm x 15cm x 3.5cm métaux, polymère, céramiques, matériaux biologiques,… |
| Milieu de travail | Air, milieu liquide | Air, milieu liquide |
Ces AFM sont dédiés à la recherche et à l’enseignement. Ils sont accessibles aux chercheurs après une formation préalable dispensée par la responsable équipement.