Micro et nano-technologies


Le domaine Technologie Circuits – Electronique Imprimée de la plateforme PLATINOM regroupe un ensemble de moyens technologiques pour le développement de procédés de fabrication de composants et micro-dispositifs de Micro et Nanotechnologies silicium et non-silicium (MEMS RF, cavités RF, circuits micro-fluidiques…) couvrant les bandes de fréquences Radio jusqu’au THz, de dispositifs de l’optoélectronique organique imprimable (cellules photovoltaïques, transistors à effet de champ, diodes électroluminescentes, capteurs, etc) et de matériaux innovants oxydés (PCM…). Il rassemble également des outils de caractérisations des matériaux et dispositifs utilisant des techniques morphologiques, optiques, électriques et optoélectroniques. Cette centrale technologique s‘étend sur plus de 710 m² dont 180 m² de salle blanche (ISO 5 et ISO 7). Le domaine est membre du réseau RENATECH +, Réseau National des grandes centrales Technologiques. Il est également ouvert à la prestation de service.

Cyril GUINES

Responsable

05 87 50 67 40
cyril.guines@unilim.fr

Le domaine Technologie Circuits – Electronique Imprimée de la plateforme PLATINOM regroupe un ensemble de moyens technologiques pour le développement de procédés de fabrication de composants et micro-dispositifs de Micro et Nanotechnologies silicium et non-silicium (MEMS RF, cavités RF, circuits micro-fluidiques…) couvrant les bandes de fréquences Radio jusqu’au THz, de dispositifs de l’optoélectronique organique imprimable (cellules photovoltaïques, transistors à effet de champ, diodes électroluminescentes, capteurs, etc) et de matériaux innovants oxydés (PCM…).

Il rassemble également des outils de caractérisations des matériaux et dispositifs utilisant des techniques morphologiques, optiques, électriques et optoélectroniques.

Cette centrale technologique s‘étend sur plus de 710 m² dont 180 m² de salle blanche (ISO 5 et ISO 7). Le domaine est membre du réseau RENATECH +, Réseau National des grandes centrales Technologiques. Il est également ouvert à la prestation de service.


Cyril GUINES

Responsable

05 87 50 67 40
cyril.guines@unilim.fr

Procédés disponibles

Lithographie

– aligneurs de masques pour insolation à 365 nm et 405 nm de polymères photosensibles

– résolution proche du micron

– large gamme de résines de microélectronique

– alignement tout type de substrat, de tailles et de formes non-conventionnelles de quelques mm² jusqu’à 4″.
Dépôts de couches minces

– Evaporation par faisceau d’électrons sous vide
– Faisceau d’électrons pour co-évaporation (Tri-canons)
– Pulvérisation cathodique DC 2″ et DC 3″ ainsi que DC pulsée + RF 3″ pour couches métalliques, nitrurées et oxydées
– Dépôt chimique par phase vapeur de couches minces nitrurées
– Ablation laser eximère pour multicouches et dopages
Gravure
– Gravure sèche par plasma réactif

– Gravure humide de couches métalliques, oxydes et silicium

Micro-fabrication additive 3D
Micro-impression de voxels métalliques de cuivre par procédé électrochimique
Recharges électrolytiques
Recharges électrolytiques d’or pur et de cuivre
Métrologie, assemblage et intégration
– MEB de paillasse (100 nm)

– Scie automatique

– Système de report de puces et composants pour l’intégration par collage

– Fours de recuits sous vide (jusqu’à 850°C)

Savoir-faire

Conception et réalisation de composants MEMS RF
  • Commutateurs, capacités variables,
  • Switch ohmiques,
  • Déphaseurs,
  • Filtres
Développement de matériaux à transitions et changement de phase (VO2, GeTe, …) pour des applications dans le domaine millimétrique et térahertz
  • Commutateurs, capacités variables,
  • Circuits RF reconfigurables (antennes, déphaseurs, filtres,…)
Conception et réalisation de système de microfluidique
  • Bio-capteurs RF,
  • Laboratoire sur puces
Micro-fabrication additive 3D Haute résolution
  • Micro-structures métalliques 3D complexes
  • Composants multi-couches (micro-coax en cavité,…)
Electronique et opto-électronique imprimable
  • Composants à base de matériaux organiques
  • Cellules solaires, LED
  • Matériaux à base de pérovskite

Voir l’offre de prestation associée.

Site de réservation

Ressources

Visitez la salle blanche comme si vous y étiez en cliquant sur l’image ci-dessous.

Publications récentes :

Electrical activation of insulator-to-metal transition in vanadium dioxide single-crystal nanobeam and their high-frequency switching performances https://dx.doi.org/10.1063/5.0221152

Frequency Reconfigurable Millimeter Wave Antenna Integrating Ferroelectric Interdigitated Capacitors https://dx.doi.org/10.23919/EuCAP57121.2023.10133761

Improving Device-to-Device Reproducibility of Light-Emitting Diodes Based on Layered Halide Perovskites https://dx.doi.org/10.3390/electronics13061039

Silver Nanowire Electrodes Integrated in Organic Solar Cells with Thick Active Layer Based on a Low‐Cost Donor Polymer https://dx.doi.org/10.1002/solr.202200756