Université de Limoges Recherche

MEMS RF

XLIM et les technologies MEMS RF

Le laboratoire XLIM a largement contribué au développement des technologies MEMS (Micro Electro-Mechanical Systems) et notamment d’une technologie MEMS appliquée aux ondes hyperfréquences, les MEMS RF.

Les technologies MEMS possèdent des composants fabriqués en détournant les procédés de fabrication de la microélectronique classique pour faire des éléments mécaniques. On les retrouve dans de nombreuses applications grand public. C’est un micro-gyroscope MEMS qui détecte la rotation d’un smartphone lorsqu’on tourne l’écran pour voir une photo en mode panoramique. D’autres, comme les accéléromètres, permettent de reproduire le mouvement de la main par un personnage de jeu vidéo, de stabiliser l’image d’un appareil photo.
Au début des années 2000, XLIM s’est engagé dans des recherches sur les MEMS RF. Les MEMS RF utilisent un actionnement électrostatique pour ouvrir ou fermer un contact métallique ou pour faire varier la capacité formée entre deux électrodes. Ils consomment très peu d’énergie, et se comportent comme des éléments idéaux pour la réalisation de nombreux composants hautes fréquences comme les filtres qui servent à sélectionner la fréquence de fonctionnement d’un système RF ou les antennes , les matrices de commutation pour les satellites ou encore les circuits de contrôle de réseaux d’antennes. On trouve ces composants dans la radio qui sert au smartphone à communiquer par les ondes hertziennes, mais aussi dans les stations de base des réseaux cellulaires, les équipements de test, ou encore certains satellites.
Les progrès réalisés par XLIM ont permis d’embarquer une vingtaine de composants dans la charge utile d’un satellite, qui a été placé en orbite géostationnaire par un lanceur Ariane V en février 2014. Les composants ont ainsi
pu être testés en orbite et leur fonctionnement a pu être validé.
Une version commerciale de ces composants a été développée par la société AirMems issue du laboratoire XLIM, qui poursuit la mise au point de cette technologie pour les marchés à forte valeur ajoutée comme le spatial ou la défense.
La technologie MEMS RF connaît un intérêt très fort, lié aux applications dans les smartphones et des géants du secteur de la téléphonie mobile ont fait des investissements sans précédent sur cette technologie en 2015.
Par ces avancées, XLIM confirme son positionnent au niveau international dans le domaine des hyperfréquences.
> Contact : Pierre  Blondy