Le SerMiEl dispose de deux microscopes électroniques à balayage : un MEB conventionnel (Phillps-xl30) et un MEB à effet de champ ( JEOL JSM-7400F).
MEB Phillips-XL30
Le MEB Phillips-XL30 permet l’observation et à l’analyse des échantillons en microscopie conventionnelle
Il est équipé :
- Pour l’imagerie: d’un détecteur d’électrons secondaire pour mettre en évidence la topographie, la morphologie et d’un détecteur d’électrons rétrodiffusés pour l’étude du contraste chimique.
- Pour l’ analyse chimique: d’une microanalyse EDS (Energy dispersive spectrometry) OXFORD INCA permettant l’analyse chimique élémentaire
- Pour l’analyse structurale: d’un système EBSD (Electron BackScatter Diffraction), TSL OIM pour l’étude de la caractérisation micro structurale et texturale des échantillons.
Caractéristiques: Source d’électrons tungstène, tension de 1kV à 30kV, résolution 15nm à 15kV, grossissement allant jusqu’à x 100 000.
La taille de la chambre permet d’insérer des échantillons volumineux. Le MEB dispose de porte échantillons pouvant charger 5 échantillons en même temps dans la chambre, donnant ainsi un débit élevé de caractérisations.
Ce MEB est un équipement souple d’utilisation. Il est dédié à la recherche et à l’enseignement. Pour les chercheurs des laboratoires, il est accessible en libre service après une formation préalable dispensée par l’ingénieur du service.
MEB JEOL JSM-7400F
Le JSM-7400F est un MEB à effet de champ (FEG), cathode froide. Il est destiné à l’observation d’échantillons en mode ultra haute résolution (échantillon de taille nanométrique) en particulier en basse tension et à l’analyse chimique de ces échantillons.
Il est équipé
- Pour l’imagerie: de 2 détecteurs d’électrons secondaires (SEI et LEI) pour mettre en évidence la topographie, la morphologie. La resolution de cet appareil avoisine le nanomètre même à basse tension. Par ailleurs, l’observation à très basse tension est facilitée par un système de décélération du faisceau (Gentle Beam Mode) qui améliore la résolution, permettant l’observation de structures fines de surface. Un détecteur d’électrons rétrodiffusés (in lens) permet l’étude du contraste de phase à des faibles distances de travail.
- Pour l’analyse chimique: d’une microanalyse EDS (spectromètre dispersive en énergie) PGT Synergie permettant l’analyse chimique élémentaire.
Caractéristiques: Cathode froide, résolution de 1nm à 10kV et 1.5nm à 1kV, grossissement allant à jusqu’ à x 650 000, tension de 0.1kV à 30kV, platine entièrement motorisée.
Le JSM-7400F est équipé d’un système cryogénique qui intéresse aussi bien les scientifiques en science de matériaux que ceux des sciences du vivant. Le principe est basé sur la congélation ultra-rapide (quelques millisecondes) des échantillons qui se fait au moyen d’un équipement Leica EMPACT soumettant l’échantillon à un jet d’azote liquide sous haute pression.
Cet équipement, dont l’accès est limité, est entièrement dédié à la recherche.
